文献
J-GLOBAL ID:201702266695511760
整理番号:17A1786691
高温化学蒸着法による緻密な炭化タンタル皮膜の調製【JST・京大機械翻訳】
Preparation of high-density tantalum carbide coating by high-temperature chemical vapor deposition
著者 (6件):
Zhang Li
(中国電子科技集団公司第四十六研究所,天津,300220)
,
Qi Haitao
(中国電子科技集団公司第四十六研究所,天津,300220)
,
Xu Yongkuan
(中国電子科技集団公司第四十六研究所,天津,300220)
,
Wang Lijie
(中国電子科技集団公司第四十六研究所,天津,300220)
,
Shi Yuezeng
(中国電子科技集団公司第四十六研究所,天津,300220)
,
Liu Jinxin
(中国電子科技集団公司第四十六研究所,天津,300220)
資料名:
Gongneng Cailiao
(Gongneng Cailiao)
巻:
48
号:
6
ページ:
6183-6186,6192
発行年:
2017年
JST資料番号:
C2095A
ISSN:
1001-9731
CODEN:
GOCAEA
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
中国 (CHN)
言語:
中国語 (ZH)