文献
J-GLOBAL ID:201702266835032717
整理番号:17A1570332
集束電子ビーム誘起処理を用いて作製したナノ粒状複合材料における接触と線抵抗率【Powered by NICT】
Contact and line resistivity in nanogranular compound materials fabricated with focused electron beam induced processing
著者 (2件):
Koops H. W. P.
(HaWilKo GmbH, Ernst Ludwig Stras&e 16, 64372 Ober-Ramstadt, Germany)
,
Rangelow I. W.
(Department of Micro- and Nano-Electronic Systems (MNES), Institute of Micro and Nano-Electronics, Ilmenau University of Technology, Gustav-Kirchhoff-Str. 1, 98693 Ilmenau, Germany)
資料名:
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻:
2017
号:
IVNC
ページ:
100-101
発行年:
2017年
JST資料番号:
W2441A
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)