前のページに戻る
この文献は全文を取り寄せることができます
JDreamⅢ複写サービスから文献全文の複写（冊子体のコピー）をお申込みできます。
ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です。
ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です。
既に、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDをお持ちの方
JDreamⅢ複写サービスのご利用が初めての方
取り寄せる文献のタイトルと詳細
文献
J-GLOBAL ID：201702266865788926
整理番号：17A1415017
AlN薄膜圧電層によるマイクロマシン加工した正方形および円形の膜変換器の応答の検出とモデル化
Modeling and detecting response of micromachining square and circular membranes transducers based on AlN thin film piezoelectric layer
HERTH Etienne
(Univ. de Franche Comte, Besancon, FRA)
,
VALBIN Laurie
(ESIEE Paris, Noisy le Grand, FRA)
,
LARDET-VIEUDRIN Franck
(Univ. de Franche Comte, Besancon, FRA)
,
ALGRE Emmanuelle
(ESIEE Paris, Noisy le Grand, FRA)
資料名：
Microsystem Technologies
(Microsystem Technologies)
巻： 23 号： 9 ページ： 3873-3880 発行年： 2017年09月
JST資料番号： W2056A ISSN： 0946-7076 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： ドイツ (DEU) 言語： 英語 (EN)
JDreamⅢ複写サービスとは
JDreamⅢ複写サービスは、学術文献の全文を複写（コピー）して取り寄せできる有料サービスです。インターネットに公開されていない文献や、図書館に収録されていない文献の全文を、オンラインで取り寄せることができます。J-GLOBALの整理番号にも対応しているので、申し込みも簡単にできます。全文の複写（コピー）は郵送またはFAXでお送りします
※ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です
※初めてご利用される方は、JDreamⅢ複写サービスのご案内をご覧ください。
※ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です
※初めてご利用される方は、JDreamⅢ複写サービスのご案内をご覧ください。