文献
J-GLOBAL ID:201702267406580203
整理番号:17A1723522
超短レーザパルスを用いたシリコンにおける非晶質-結晶ミクロ・ナノ構造の作製【Powered by NICT】
Fabrication of amorphous-crystalline micro- and nanostructures in silicon using ultrashort laser pulses
著者 (8件):
Fuentes-Edfuf Yasser
(Laser Processing Group, Instituto de O ́ptica, CSIC, Serrano 121, 28006Madrid, Spain)
,
Garcia-Lechuga Mario
(Laser Processing Group, Instituto de O ́ptica, CSIC, Serrano 121, 28006Madrid, Spain)
,
Puerto Daniel
(Laser Processing Group, Instituto de O ́ptica, CSIC, Serrano 121, 28006Madrid, Spain)
,
Florian Camilo
(Laser Processing Group, Instituto de O ́ptica, CSIC, Serrano 121, 28006Madrid, Spain)
,
Garcia-Leis Adianez
(Instituto de Estructura de la Materia, CSIC, Serrano 121, 28006 Madrid, Spain)
,
Sanchez-Cortes Santiago
(Instituto de Estructura de la Materia, CSIC, Serrano 121, 28006 Madrid, Spain)
,
Solis Javier
(Laser Processing Group, Instituto de O ́ptica, CSIC, Serrano 121, 28006Madrid, Spain)
,
Siegel Jan
(Laser Processing Group, Instituto de O ́ptica, CSIC, Serrano 121, 28006Madrid, Spain)
資料名:
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻:
2017
号:
CLEO/Europe-EQEC
ページ:
1
発行年:
2017年
JST資料番号:
W2441A
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)