文献
J-GLOBAL ID:201702267456854681
整理番号:17A0748327
‘凍結’試料のSIMS深さプロファイリング:究極の深さ分解能領域の探索【Powered by NICT】
SIMS depth profiling of ‘frozen’ samples: in search of ultimate depth resolution regime
著者 (6件):
Kudriavtsev Y.
(Departamento Ingenieria Electrica - SEES, Cinvestav-IPN, Mexico City, Mexico)
,
Hernandez A.
(Departamento Ingenieria Electrica - SEES, Cinvestav-IPN, Mexico City, Mexico)
,
Asomoza R.
(Departamento Ingenieria Electrica - SEES, Cinvestav-IPN, Mexico City, Mexico)
,
Gallardo S.
(Departamento Fisica, Cinvestav-IPN, Mexico City, Mexico)
,
Lopez M.
(Departamento Fisica, Cinvestav-IPN, Mexico City, Mexico)
,
Moiseev K.
(Ioffe Physic-Technical Institute, S-Petersburg, Russia)
資料名:
Surface and Interface Analysis
(Surface and Interface Analysis)
巻:
49
号:
2
ページ:
145-148
発行年:
2017年
JST資料番号:
E0709A
ISSN:
0142-2421
CODEN:
SIANDQ
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)