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文献
J-GLOBAL ID：201702267487386496
整理番号：17A1810830
超臨界二酸化炭素流体を使用したメソポーラス有機ケイ酸塩薄膜の有機テンプレートの除去
Removal of organic template of mesoporous organosilicate thin films using supercritical carbon dioxide fluids
KONDOH Eiichi
(Univ. Yamanashi, Kofu, JPN)
,
SEGAWA Koki
(Univ. Yamanashi, Kofu, JPN)
,
WATANABE Mitsuhiro
(Univ. Yamanashi, Kofu, JPN)
,
JIN Lianhua
(Univ. Yamanashi, Kofu, JPN)
,
ZHANG Liping
(IMEC, Leuven, BEL)
,
BAKLANOV Mikhail R.
(North China Univ. Technol., Beijing, CHN)
資料名：
Japanese Journal of Applied Physics
(Japanese Journal of Applied Physics)
巻： 56 号： 7S2 ページ： 07KF02.1-07KF02.4 発行年： 2017年07月
JST資料番号： G0520B ISSN： 0021-4922 CODEN： JJAPB6 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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