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文献
J-GLOBAL ID：201702267964886337
整理番号：17A1016218
細線状TiN電極上へのVO2薄膜の堆積と面直方向絶縁体-金属転移特性評価
青戸智寛
(東海大 工)
,
沖村邦雄
(東海大 工)
資料名：
表面科学学術講演会講演要旨集
(表面科学学術講演会要旨集)
巻： 37th ページ： 43 発行年： 2017年08月17日
JST資料番号： L1366A 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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