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文献
J-GLOBAL ID：201702268427618927
整理番号：17A0965763
Canon社の最新のKrFスキャナによる3D NANDプロセスのための解【Powered by NICT】
The solutions for 3D-NAND processes with Canon’s latest KrF scanner
Yamada Masanori
(Canon Inc., 20-2, Kiyohara-Kogyo-Danchi, Utsunomiya, Tochigi, 3213292, JAPAN)
,
Takeuchi Hajime
(Canon Inc., 20-2, Kiyohara-Kogyo-Danchi, Utsunomiya, Tochigi, 3213292, JAPAN)
,
Mishima Kazuhiko
(Canon Inc., 20-2, Kiyohara-Kogyo-Danchi, Utsunomiya, Tochigi, 3213292, JAPAN)
,
Yoshimura Keiji
(Canon Inc., 20-2, Kiyohara-Kogyo-Danchi, Utsunomiya, Tochigi, 3213292, JAPAN)
,
Takahashi Kazuhiro
(Canon Inc., 20-2, Kiyohara-Kogyo-Danchi, Utsunomiya, Tochigi, 3213292, JAPAN)
資料名：
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017 号： CSTIC ページ： 1-3 発行年： 2017年
JST資料番号： W2441A 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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