文献
J-GLOBAL ID:201702268570581606
整理番号:17A0214371
HVICのためのダイヤモンド状炭素コーティングの輸送特性に及ぼすTCADベース研究【Powered by NICT】
TCAD-based investigation on transport properties of Diamond-like carbon coatings for HV-ICs
著者 (8件):
Reggiani S.
(ARCES and DEI, University of Bologna, Bologna, Italy)
,
Giordano C.
(ARCES and DEI, University of Bologna, Bologna, Italy)
,
Gnudi A.
(ARCES and DEI, University of Bologna, Bologna, Italy)
,
Gnani E.
(ARCES and DEI, University of Bologna, Bologna, Italy)
,
Baccarani G.
(ARCES and DEI, University of Bologna, Bologna, Italy)
,
Dobrzynska J.
(ABB Semiconductors Ltd, Fabrikstrasse 3, Lenzburg, Switzerland)
,
Vobecky J.
(ABB Semiconductors Ltd, Fabrikstrasse 3, Lenzburg, Switzerland)
,
Bellini M.
(Corporate Research Center, ABB Switzerland, Dattwil, Switzerland)
資料名:
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻:
2016
号:
IEDM
ページ:
36.7.1-36.7.4
発行年:
2016年
JST資料番号:
W2441A
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)