文献
J-GLOBAL ID:201702268852891907
整理番号:17A0463451
薄膜二電極インピーダンスセンサ 開発及び試験
THIN FILM TWO-ELECTRODE IMPEDANCE SENSOR DEVELOPMENT AND TESTS
著者 (5件):
ZABOROWSKI Michal
(Inst. Electron Technol., Warsaw)
,
BARANIECKA Anna
(Inst. Electron Technol., Warsaw)
,
ZAJAC Jerzy
(Inst. Electron Technol., Warsaw)
,
DOMANSKI Krzysztof
(Inst. Electron Technol., Warsaw)
,
GRABIEC Piotr
(Inst. Electron Technol., Warsaw)
資料名:
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻:
10161
ページ:
101610Y.1-101610Y.7
発行年:
2016年
JST資料番号:
D0943A
ISSN:
0277-786X
CODEN:
PSISDG
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)