文献
J-GLOBAL ID:201702268930523246
整理番号:17A1358049
モノリシックMEMSによるシリコンナノワイヤの圧電抵抗特性【Powered by NICT】
Piezoresistivity characterization of silicon nanowires through monolithic MEMS
著者 (3件):
Nasr Esfahani Mohammad
(Department of Mechanical Engineering, Koc, University, Istanbul Turkey)
,
Leblebici Yusuf
(Microelectronic Systems Laboratory, EPFL, Lausanne, Switzerland)
,
Alaca B. Erdem
(Department of Mechanical Engineering, Surface Science and Technology Center, Koc, University, Istanbul Turkey)
資料名:
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻:
2017
号:
NEMS
ページ:
77-80
発行年:
2017年
JST資料番号:
W2441A
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)