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文献
J-GLOBAL ID：201702269036793521
整理番号：17A0367934
超臨界二酸化炭素を用いたマイクロスケール溝への6FDAとTFDBのふっ素化ポリイミドの蒸着【Powered by NICT】
Deposition of fluorinated polyimide consisting of 6FDA and TFDB into microscale trenches using supercritical carbon dioxide
Haruki Masashi
(Faculty of Mechanical Engineering, Institute of Science and Engineering, Kanazawa University, Kakuma-machi, Kanazawa 920-1192, Japan)
,
Oda Asuka
(Department of Chemical Engineering, Graduate School of Engineering, Hiroshima University, 1-4-1 Kagamiyama, Higashi-Hiroshima 739-8527, Japan)
,
Wasada Atsuhiko
(Department of Chemical Engineering, Graduate School of Engineering, Hiroshima University, 1-4-1 Kagamiyama, Higashi-Hiroshima 739-8527, Japan)
,
Kihara Shin-ichi
(Department of Chemical Engineering, Graduate School of Engineering, Hiroshima University, 1-4-1 Kagamiyama, Higashi-Hiroshima 739-8527, Japan)
,
Takishima Shigeki
(Department of Chemical Engineering, Graduate School of Engineering, Hiroshima University, 1-4-1 Kagamiyama, Higashi-Hiroshima 739-8527, Japan)
資料名：
Journal of Supercritical Fluids
(Journal of Supercritical Fluids)
巻： 119 ページ： 238-244 発行年： 2017年
JST資料番号： W1591A ISSN： 0896-8446 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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