文献
J-GLOBAL ID:201702269207640719
整理番号:17A0539906
電子ビームリソグラフィーと三次元レーザリソグラフィーを使う三次元のポリスチレンコロイド結晶によって金属配線を集積する
Intregrating metallic wiring with three-dimensional polystyrene colloidal crystals using electron-beam lithography and three-dimensional laser lithography
著者 (7件):
TIAN Yaolan
(Univ. Jyvaskyla, Jyvaeskylae, FIN)
,
ISOTALO Tero J
(Univ. Jyvaskyla, Jyvaeskylae, FIN)
,
KONTTINEN Mikko P
(Univ. Jyvaskyla, Jyvaeskylae, FIN)
,
LI Jiawei
(Univ. Jyvaskyla, Jyvaeskylae, FIN)
,
HEISKANEN Samuli
(Univ. Jyvaskyla, Jyvaeskylae, FIN)
,
GENG Zhuoran
(Univ. Jyvaskyla, Jyvaeskylae, FIN)
,
MAASILTA Ilari J
(Univ. Jyvaskyla, Jyvaeskylae, FIN)
資料名:
Journal of Physics. D. Applied Physics
(Journal of Physics. D. Applied Physics)
巻:
50
号:
5
ページ:
055302,1-8
発行年:
2017年02月08日
JST資料番号:
B0092B
ISSN:
0022-3727
CODEN:
JPAPBE
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)