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文献
J-GLOBAL ID：201702269276186653
整理番号：17A0013380
窒化ガリウム(GaN)/強誘電体薄膜MEMSおよび圧力センサ用のSiC,サファイア,ガラスおよびセラミックへのレーザアブレーションによる膜の製造
Manufacturing of membranes by laser ablation in SiC, sapphire, glass and ceramic for GaN/ferroelectric thin film MEMS and pressure sensors
Zehetner J.
(Research Centre for Microtechnology, University of Applied Sciences, Dornbirn, Austria)
,
Kraus S.
(Department of Telecommunication Engineering, Faculty of Electrical Engineering, Czech Technical University in Prague, Prague 6, Czech Republic)
,
Lucki M.
(Department of Telecommunication Engineering, Faculty of Electrical Engineering, Czech Technical University in Prague, Prague 6, Czech Republic)
,
Vanko G.
(Institute of Electrical Engineering, Slovak Academy of Sciences, Bratislava, Slovakia)
,
Dzuba J.
(Institute of Electrical Engineering, Slovak Academy of Sciences, Bratislava, Slovakia)
,
Lalinsky T.
(Institute of Electrical Engineering, Slovak Academy of Sciences, Bratislava, Slovakia)
資料名：
Microsystem Technologies
(Microsystem Technologies)
巻： 22 号： 7 ページ： 1883-1892 発行年： 2016年07月
JST資料番号： W2056A ISSN： 0946-7076 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： ドイツ (DEU) 言語： 英語 (EN)
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