文献
J-GLOBAL ID:201702269473712586
整理番号:17A1406315
機械学習に基づく高速リソグラフィー空中像計算法
Fast lithography aerial image calculation method based on machine learning
著者 (6件):
MA Xu
(Beijing Inst. of Technol., Beijing, CHN)
,
ZHAO Xuejiao
(Beijing Inst. of Technol., Beijing, CHN)
,
WANG Zhiqiang
(Beijing Inst. of Technol., Beijing, CHN)
,
LI Yanqiu
(Beijing Inst. of Technol., Beijing, CHN)
,
ZHAO Shengjie
(Tongji Univ., Shanghai, CHN)
,
ZHANG Lu
(Nokia Shanghai Bell Co., Ltd., Shanghai, CHN)
資料名:
Applied Optics
(Applied Optics)
巻:
56
号:
23
ページ:
6485-6495
発行年:
2017年08月10日
JST資料番号:
B0026B
ISSN:
1559-128X
CODEN:
APOPAI
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)