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文献
J-GLOBAL ID：201702269511589398
整理番号：17A0463119
組みあわせナノ及びマイクロ加工のための直接レーザ描画及びソフトリソグラフィーモールド
Combination of direct laser writing and soft lithography molds for combined nano- and microfabrication
RUMLER M.
(Univ. Erlangen-Nuremberg, Erlangen, DEU)
,
RUMLER M.
(Cluster of Excellence Engineering of Advanced Materials, Erlangen, DEU)
,
RUMLER M.
(Graduate School in Advanced Optical Technol., Erlangen, DEU)
,
KOLLMUSS M.
(Univ. Erlangen-Nuremberg, Erlangen, DEU)
,
BAIER L.
(Fraunhofer Inst. Integrated Systems and Device Technol., Erlangen, DEU)
,
MICHEL F.
(Fraunhofer Inst. Integrated Systems and Device Technol., Erlangen, DEU)
,
FOERTHNER M.
(Univ. Erlangen-Nuremberg, Erlangen, DEU)
,
FOERTHNER M.
(Graduate School in Advanced Optical Technol., Erlangen, DEU)
,
BECKER M.
(Nanoworld Serv. GmbH, Erlangen, DEU)
,
ROMMEL M.
(Fraunhofer Inst. Integrated Systems and Device Technol., Erlangen, DEU)
,
FREY L.
(Univ. Erlangen-Nuremberg, Erlangen, DEU)
,
FREY L.
(Cluster of Excellence Engineering of Advanced Materials, Erlangen, DEU)
,
FREY L.
(Graduate School in Advanced Optical Technol., Erlangen, DEU)
,
FREY L.
(Fraunhofer Inst. Integrated Systems and Device Technol., Erlangen, DEU)
資料名：
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻： 10032 ページ： 100320Q.1-100320Q.11 発行年： 2016年
JST資料番号： D0943A ISSN： 0277-786X CODEN： PSISDG 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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