文献
J-GLOBAL ID:201702269790652845
整理番号:17A0289880
2xnmホール-NILテンプレート製造用の高性能製造工程
High-performance fabrication process for 2xnm hole-NIL template production
著者 (10件):
YAGAWA Keisuke
(Toshiba Corp., Kawasaki, JPN)
,
SUENAGA Machiko
(Toshiba Corp., Kawasaki, JPN)
,
MOTOKAWA Takeharu
(Toshiba Corp., Kawasaki, JPN)
,
TANABE Mana
(Toshiba Corp., Kawasaki, JPN)
,
ANDO Akihiko
(Toshiba Corp., Kawasaki, JPN)
,
YAMANAKA Eiji
(Toshiba Corp., Kawasaki, JPN)
,
MORISHITA Keiko
(Toshiba Corp., Kawasaki, JPN)
,
KANAMITSU Shingo
(Toshiba Corp., Kawasaki, JPN)
,
SAITO Masato
(Toshiba Corp., Kawasaki, JPN)
,
ITOH Masamitsu
(Toshiba Corp., Kawasaki, JPN)
資料名:
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻:
9985
ページ:
99852E.1-99852E.7
発行年:
2016年
JST資料番号:
D0943A
ISSN:
0277-786X
CODEN:
PSISDG
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)