文献
J-GLOBAL ID:201702269816401208
整理番号:17A1090511
マスク検査ファイを自動化用のパターンに基づく方法
A Pattern-Based Method to Automate Mask Inspection Files
著者 (7件):
KAMAL BAHARIN Ezni Aznida Binti
(Silterra Malaysia Sdn Bhd, Kedah Darul Aman, MYS)
,
MUHSAIN Mohamad Fahmi Bin
(Silterra Malaysia Sdn Bhd, Kedah Darul Aman, MYS)
,
IBRAHIM Muhamad Asraf Bin
(Silterra Malaysia Sdn Bhd, Kedah Darul Aman, MYS)
,
AHMAD NOORHANI Ahmad Nurul Ihsan Bin
(Silterra Malaysia Sdn Bhd, Kedah Darul Aman, MYS)
,
SWEIS Jason
(Cadence Design Systems, Inc., CA, USA)
,
LAI Ya-Chieh
(Cadence Design Systems, Inc., CA, USA)
,
HURAT Philippe
(Cadence Design Systems, Inc., CA, USA)
資料名:
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻:
10145
号:
Pt.2
ページ:
101452Q.1-101452Q.9
発行年:
2017年
JST資料番号:
D0943A
ISSN:
0277-786X
CODEN:
PSISDG
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)