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文献
J-GLOBAL ID：201702269946163373
整理番号：17A0450116
NEXAFS,RamanおよびTEMによる70keVのHeイオンを照射したCVD SiCの損傷挙動の研究【Powered by NICT】
Investigation of the damage behavior in CVD SiC irradiated with 70keV He ions by NEXAFS, Raman and TEM
Liu Min
(Shanghai Institute of Applied Physics, Chinese Academy of Sciences, Shanghai 201800, China)
,
Yang Xinmei
(Shanghai Institute of Applied Physics, Chinese Academy of Sciences, Shanghai 201800, China)
,
Gao Yantao
(Shanghai Institute of Applied Physics, Chinese Academy of Sciences, Shanghai 201800, China)
,
Liu Renduo
(Shanghai Institute of Applied Physics, Chinese Academy of Sciences, Shanghai 201800, China)
,
Huang Hefei
(Shanghai Institute of Applied Physics, Chinese Academy of Sciences, Shanghai 201800, China)
,
Zhou Xingtai
(Shanghai Institute of Applied Physics, Chinese Academy of Sciences, Shanghai 201800, China)
,
Sham T.K.
(Department of Chemistry and Soochow-Western Centre for Synchrotron Radiation Research, University of Western Ontario, London, Ontario, N6A5B7, Canada)
資料名：
Journal of the European Ceramic Society
(Journal of the European Ceramic Society)
巻： 37 号： 4 ページ： 1253-1259 発行年： 2017年
JST資料番号： E0801B ISSN： 0955-2219 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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