文献
J-GLOBAL ID:201702269974650212
整理番号:17A1258263
二重レンズ電子線ホログラフィによる二次元浅い接合マッピング【Powered by NICT】
2-D shallow junction mapping by dual lens electron holography
著者 (5件):
Wang Y. Y.
(Globalfoundries Inc., 2070 Route 52, Hopewell Junction, NY 12533, USA)
,
Nxumalo J.
(Globalfoundries Inc., 2070 Route 52, Hopewell Junction, NY 12533, USA)
,
Ontalus V.
(Globalfoundries Inc., 2070 Route 52, Hopewell Junction, NY 12533, USA)
,
Krishnasamy R.
(Globalfoundries Inc, 1000 River Street, Essex Junction, VT 05452, USA)
,
Katnani A.
(Globalfoundries Inc., 2070 Route 52, Hopewell Junction, NY 12533, USA)
資料名:
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻:
2017
号:
IWJT
ページ:
34-37
発行年:
2017年
JST資料番号:
W2441A
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)