文献
J-GLOBAL ID:201702270070497392
整理番号:17A0445487
RF平面マグネトロンスパッタリングに及ぼす侵食溝効果【Powered by NICT】
The erosion groove effects on RF planar magnetron sputtering
著者 (4件):
Tadjine Rabah
(Equipe Plasma & Applications, Division des Milieux ionises et Laser, Centre de Developpement des Technologies Avancees, CDTA, Cite du 20 Aout 1956, BP N°17, Baba-Hassen 16303, Algiers, Algeria)
,
Tadjine Rabah
(Universite des Sciences et de la Technologie Houari Boumediene, USTHB, BP32 El Alia, Bab-Ezzouar 16111, Algiers, Algeria)
,
Alim Mounes M.
(Equipe Plasma & Applications, Division des Milieux ionises et Laser, Centre de Developpement des Technologies Avancees, CDTA, Cite du 20 Aout 1956, BP N°17, Baba-Hassen 16303, Algiers, Algeria)
,
Kechouane Mohamed
(Universite des Sciences et de la Technologie Houari Boumediene, USTHB, BP32 El Alia, Bab-Ezzouar 16111, Algiers, Algeria)
資料名:
Surface & Coatings Technology
(Surface & Coatings Technology)
巻:
309
ページ:
573-578
発行年:
2017年
JST資料番号:
D0205C
ISSN:
0257-8972
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)