文献
J-GLOBAL ID:201702270115532481
整理番号:17A0865210
スピンオン金属酸化物類および次世代リソグラフィーのためのそれらの応用
Spin-on Metal Oxides and Their Applications for Next Generation Lithography
著者 (17件):
Yao Huirong
(EMD Performance Materials Corp.)
,
Mullen Salem
(EMD Performance Materials Corp.)
,
Wolfer Elizabeth
(EMD Performance Materials Corp.)
,
Mckenzie Douglas
(EMD Performance Materials Corp.)
,
Dioses Alberto
(EMD Performance Materials Corp.)
,
Rahman Dalil
(EMD Performance Materials Corp.)
,
Cho JoonYeon
(EMD Performance Materials Corp.)
,
Padmanaban Munirathna
(EMD Performance Materials Corp.)
,
Petermann Claire
(Merck Performance Materials)
,
Hong SungEun
(Merck Performance Materials)
,
Mannaert Geert
(IMEC)
,
Hopf Toby
(IMEC)
,
De Simone Danilo
(IMEC)
,
Vangoidsenhoven Diziana
(IMEC)
,
Lorant Christophe
(IMEC)
,
Sebaai Farid
(IMEC)
,
Sanchez Efrain Altamirano
(IMEC)
資料名:
Journal of Photopolymer Science and Technology
(Journal of Photopolymer Science and Technology)
巻:
29
号:
1
ページ:
59-67(J-STAGE)
発行年:
2016年
JST資料番号:
L0202A
ISSN:
0914-9244
CODEN:
JSTEEW
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
日本 (JPN)
言語:
英語 (EN)