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文献
J-GLOBAL ID：201702270115532481
整理番号：17A0865210
スピンオン金属酸化物類および次世代リソグラフィーのためのそれらの応用
Spin-on Metal Oxides and Their Applications for Next Generation Lithography
Yao Huirong
(EMD Performance Materials Corp.)
,
Mullen Salem
(EMD Performance Materials Corp.)
,
Wolfer Elizabeth
(EMD Performance Materials Corp.)
,
Mckenzie Douglas
(EMD Performance Materials Corp.)
,
Dioses Alberto
(EMD Performance Materials Corp.)
,
Rahman Dalil
(EMD Performance Materials Corp.)
,
Cho JoonYeon
(EMD Performance Materials Corp.)
,
Padmanaban Munirathna
(EMD Performance Materials Corp.)
,
Petermann Claire
(Merck Performance Materials)
,
Hong SungEun
(Merck Performance Materials)
,
Mannaert Geert
(IMEC)
,
Hopf Toby
(IMEC)
,
De Simone Danilo
(IMEC)
,
Vangoidsenhoven Diziana
(IMEC)
,
Lorant Christophe
(IMEC)
,
Sebaai Farid
(IMEC)
,
Sanchez Efrain Altamirano
(IMEC)
資料名：
Journal of Photopolymer Science and Technology
(Journal of Photopolymer Science and Technology)
巻： 29 号： 1 ページ： 59-67(J-STAGE) 発行年： 2016年
JST資料番号： L0202A ISSN： 0914-9244 CODEN： JSTEEW 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 英語 (EN)
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