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文献
J-GLOBAL ID：201702270166762253
整理番号：17A0381452
最新の表面マイクロマシニングプロセス 3D MEMSに向けての第一段階【Powered by NICT】
Advanced surface micromachining process - A first step towards 3D MEMS
Classen Johannes
(Robert Bosch GmbH, Automotive Electronics, Reutlingen, Germany)
,
Reinmuth Jochen
(Robert Bosch GmbH, Automotive Electronics, Reutlingen, Germany)
,
Kalberer Arnd
(Robert Bosch GmbH, Automotive Electronics, Reutlingen, Germany)
,
Scheurle Andreas
(Robert Bosch GmbH, Automotive Electronics, Reutlingen, Germany)
,
Gunther Sebastian
(Robert Bosch GmbH, Automotive Electronics, Reutlingen, Germany)
,
Kiesel Stefan
(Robert Bosch GmbH, Automotive Electronics, Reutlingen, Germany)
,
Schellin Bernt
(Robert Bosch GmbH, Automotive Electronics, Reutlingen, Germany)
,
Brauer Jorg
(Robert Bosch GmbH, Automotive Electronics, Reutlingen, Germany)
,
Eicher Laura
(Bosch Sensortec GmbH, Reutlingen, Germany)
資料名：
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017 号： MEMS ページ： 314-318 発行年： 2017年
JST資料番号： W2441A 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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