文献
J-GLOBAL ID:201702270166762253
整理番号:17A0381452
最新の表面マイクロマシニングプロセス 3D MEMSに向けての第一段階【Powered by NICT】
Advanced surface micromachining process - A first step towards 3D MEMS
著者 (9件):
Classen Johannes
(Robert Bosch GmbH, Automotive Electronics, Reutlingen, Germany)
,
Reinmuth Jochen
(Robert Bosch GmbH, Automotive Electronics, Reutlingen, Germany)
,
Kalberer Arnd
(Robert Bosch GmbH, Automotive Electronics, Reutlingen, Germany)
,
Scheurle Andreas
(Robert Bosch GmbH, Automotive Electronics, Reutlingen, Germany)
,
Gunther Sebastian
(Robert Bosch GmbH, Automotive Electronics, Reutlingen, Germany)
,
Kiesel Stefan
(Robert Bosch GmbH, Automotive Electronics, Reutlingen, Germany)
,
Schellin Bernt
(Robert Bosch GmbH, Automotive Electronics, Reutlingen, Germany)
,
Brauer Jorg
(Robert Bosch GmbH, Automotive Electronics, Reutlingen, Germany)
,
Eicher Laura
(Bosch Sensortec GmbH, Reutlingen, Germany)
資料名:
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻:
2017
号:
MEMS
ページ:
314-318
発行年:
2017年
JST資料番号:
W2441A
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)