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文献
J-GLOBAL ID：201702270213236008
整理番号：17A1354997
CMOS互換プロセスで作製したシリコンベースのマイクロ熱電発電機【Powered by NICT】
Silicon-based micro thermoelectric generator fabricated by CMOS compatible process
Watanabe Takanobu
(Faculty of Science and Engineering, Waseda University, Shinjuku, Tokyo, Japan)
資料名：
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017 号： IMFEDK ページ： 22-23 発行年： 2017年
JST資料番号： W2441A 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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