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文献
J-GLOBAL ID：201702270361556320
整理番号：17A0754158
高出力パルスマグネトロンスパッタリング(HPPMS)により作製したTiN膜の性質に及ぼす磁場強度と蒸着圧力の影響【Powered by NICT】
Effects of magnetic field strength and deposition pressure on the properties of TiN films produced by high power pulsed magnetron sputtering (HPPMS)
Wu Jian
(Key Laboratory of Advanced Technologies of Materials, Ministry of Education of China, School of Materials Science and Engineering, Southwest Jiaotong University, Chengdu 610031, China)
,
Wu B.H.
(Key Laboratory of Advanced Technologies of Materials, Ministry of Education of China, School of Materials Science and Engineering, Southwest Jiaotong University, Chengdu 610031, China)
,
Ma D.L.
(Key Laboratory of Advanced Technologies of Materials, Ministry of Education of China, School of Materials Science and Engineering, Southwest Jiaotong University, Chengdu 610031, China)
,
Xie D.
(School of Physical Science and Technology, Southwest Jiaotong University, Chengdu 610031, China)
,
Wu Y.P.
(State Key Laboratory of Physical Chemistry of Surface, Jiangyou, Sichuan 621700, China)
,
Chen C.Z
(Key Laboratory of Advanced Technologies of Materials, Ministry of Education of China, School of Materials Science and Engineering, Southwest Jiaotong University, Chengdu 610031, China)
,
Li Y.T.
(Key Laboratory of Advanced Technologies of Materials, Ministry of Education of China, School of Materials Science and Engineering, Southwest Jiaotong University, Chengdu 610031, China)
,
Sun H.
(Key Laboratory of Advanced Technologies of Materials, Ministry of Education of China, School of Materials Science and Engineering, Southwest Jiaotong University, Chengdu 610031, China)
,
Huang N.
(Key Laboratory of Advanced Technologies of Materials, Ministry of Education of China, School of Materials Science and Engineering, Southwest Jiaotong University, Chengdu 610031, China)
,
Leng Y.X.
(Key Laboratory of Advanced Technologies of Materials, Ministry of Education of China, School of Materials Science and Engineering, Southwest Jiaotong University, Chengdu 610031, China)
資料名：
Surface & Coatings Technology
(Surface & Coatings Technology)
巻： 315 ページ： 258-267 発行年： 2017年
JST資料番号： D0205C ISSN： 0257-8972 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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