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文献
J-GLOBAL ID：201702270687569487
整理番号：17A0381721
TPMS(タイヤ圧モニタリングシステム)の生産改良のための非SOIウエハ中にモノリシック集積した圧力+X/Z2軸加速複合センサ【Powered by NICT】
Pressure + X/Z two-axis acceleration composite sensors monolithically integrated in non-soi wafer for upgraded production of TPMS (tire pressure monitoring systems)
Wang Jiachou
(State Key Lab of Transducer Technology, Shanghai Institute of Microsystem and Information Technology, Chinese Academy of Sciences, Shanghai 200050, China)
,
Ni Zao
(State Key Lab of Transducer Technology, Shanghai Institute of Microsystem and Information Technology, Chinese Academy of Sciences, Shanghai 200050, China)
,
Zhou Jian
(Autochip Co. Inc. Shenzhen 518057, China)
,
Shi Xuejun
(Autochip Co. Inc. Shenzhen 518057, China)
,
Wan Tiejun
(Autochip Co. Inc. Shenzhen 518057, China)
,
Li Xinxin
(State Key Lab of Transducer Technology, Shanghai Institute of Microsystem and Information Technology, Chinese Academy of Sciences, Shanghai 200050, China)
資料名：
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017 号： MEMS ページ： 1359-1362 発行年： 2017年
JST資料番号： W2441A 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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