文献
J-GLOBAL ID:201702270704300106
整理番号:17A1346296
窒化への酸化物ベースウエハボンディングプロセスによる実用的CMUT作製【Powered by NICT】
Practical CMUT Fabrication With a Nitride-to-Oxide-Based Wafer Bonding Process
著者 (5件):
Chen Albert I. H.
(Advanced Micro-/Nano-Devices Laboratory, University of Waterloo, Waterloo, ON, Canada)
,
Wong Lawrence L. P.
(Advanced Micro-/Nano-Devices Laboratory, University of Waterloo, Waterloo, ON, Canada)
,
Li Zhenhao
(Advanced Micro-/Nano-Devices Laboratory, University of Waterloo, Waterloo, ON, Canada)
,
Na Shuai
(Advanced Micro-/Nano-Devices Laboratory, University of Waterloo, Waterloo, ON, Canada)
,
Yeow John T. W.
(Advanced Micro-/Nano-Devices Laboratory, University of Waterloo, Waterloo, ON, Canada)
資料名:
Journal of Microelectromechanical Systems
(Journal of Microelectromechanical Systems)
巻:
26
号:
4
ページ:
829-836
発行年:
2017年
JST資料番号:
W0357A
ISSN:
1057-7157
CODEN:
JMIYET
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)