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文献
J-GLOBAL ID：201702270783864485
整理番号：17A0025968
高K誘電体上の非常に低い仕事関数のALD-炭化エルビウム(ErC2)金属電極
Very Low-Work-Function ALD-Erbium Carbide (ErC2) Metal Electrode on High- $K$ Dielectrics
Ahn Hyun Jun
(Electrical Engineering Department, Korea Advanced Institute of Science and Technology, Daejeon, South Korea)
,
Moon Jungmin
(Electrical Engineering Department, Korea Advanced Institute of Science and Technology, Daejeon, South Korea)
,
Koh Sungho
(Electrical Engineering Department, Korea Advanced Institute of Science and Technology, Daejeon, South Korea)
,
Seo Yujin
(Electrical Engineering Department, Korea Advanced Institute of Science and Technology, Daejeon, South Korea)
,
Kim Choong-Ki
(Electrical Engineering Department, Korea Advanced Institute of Science and Technology, Daejeon, South Korea)
,
Rho Il Cheol
(, SK Hynix Semiconductor Inc., Cheongju, South Korea)
,
Kim Choon Hwan
(, SK Hynix Semiconductor Inc., Cheongju, South Korea)
,
Hwang Wan Sik
(Department of Materials Engineering, Korea Aerospace University, Goyang, South Korea)
,
Cho Byung Jin
(Electrical Engineering Department, Korea Advanced Institute of Science and Technology, Daejeon, South Korea)
資料名：
IEEE Transactions on Electron Devices
(IEEE Transactions on Electron Devices)
巻： 63 号： 7 ページ： 2858-2863 発行年： 2016年
JST資料番号： C0222A ISSN： 0018-9383 CODEN： IETDAI 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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