文献
J-GLOBAL ID:201702270923024787
整理番号:17A1732414
温度安定なATカット水晶厚板上のc軸傾斜配向ScAlN薄膜を用いた新しいタイプの広周波数範囲のせん断粘度センサ【Powered by NICT】
A new type wide-frequency-range shear viscosity sensor using c-axis tilted ScAlN thin film on temperature stable AT-cut quartz thick plate
著者 (4件):
Yamakawa Yui
(Faculty of Advanced Science and Engineering Waseda University Shinjuku, Tokyo, Japan)
,
Sano Ko-hei
(Faculty of Advanced Science and Engineering Waseda University Shinjuku, Tokyo, Japan)
,
Karasawa Rei
(Faculty of Advanced Science and Engineering Waseda University Shinjuku, Tokyo, Japan)
,
Yanagitani Takahiko
(Faculty of Advanced Science and Engineering Waseda University Shinjuku, Tokyo, Japan)
資料名:
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻:
2017
号:
IUS
ページ:
1-4
発行年:
2017年
JST資料番号:
W2441A
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)