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文献
J-GLOBAL ID：201702271067107871
整理番号：17A0944661
光学用途のためのPEALD金属酸化物の機械的,構造的および光学的特性
Mechanical, structural, and optical properties of PEALD metallic oxides for optical applications
SHESTAEVA Svetlana
(Fraunhofer Inst. Applied Optics and Precision Engineering IOF, Jena, DEU)
,
BINGEL Astrid
(Fraunhofer Inst. Applied Optics and Precision Engineering IOF, Jena, DEU)
,
MUNZERT Peter
(Fraunhofer Inst. Applied Optics and Precision Engineering IOF, Jena, DEU)
,
GHAZARYAN Lilit
(Friedrich Schiller Univ., Jena, Jena, DEU)
,
PATZIG Christian
(Fraunhofer Inst. Microstructure of Materials and Systems IMWS, Saale, DEU)
,
TUENNERMANN Andreas
(Fraunhofer Inst. Applied Optics and Precision Engineering IOF, Jena, DEU)
,
TUENNERMANN Andreas
(Friedrich Schiller Univ., Jena, Jena, DEU)
,
SZEGHALMI Adriana
(Fraunhofer Inst. Applied Optics and Precision Engineering IOF, Jena, DEU)
,
SZEGHALMI Adriana
(Friedrich Schiller Univ., Jena, Jena, DEU)
資料名：
Applied Optics
(Applied Optics)
巻： 56 号： 4 ページ： C47-C59 発行年： 2017年02月01日
JST資料番号： B0026B ISSN： 1559-128X CODEN： APOPAI 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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