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文献
J-GLOBAL ID：201702271139716433
整理番号：17A1483012
バナジウム被覆の高出力インパルスマグネトロンスパッタリング蒸着を相乗増強電場と磁場【Powered by NICT】
Electric and magnetic fields synergistically enhancing high power impulse magnetron sputtering deposition of vanadium coatings
Li Chunwei
(College of Engineering and Technology, Northeast Forestry University, Harbin 150040, China)
,
Li Chunwei
(State Key Laboratory of Advanced Welding and Joining, Harbin Institute of Technology, Harbin 150001, China)
,
Tian Xiubo
(State Key Laboratory of Advanced Welding and Joining, Harbin Institute of Technology, Harbin 150001, China)
,
Gong Chunzhi
(State Key Laboratory of Advanced Welding and Joining, Harbin Institute of Technology, Harbin 150001, China)
,
Liu Shouxin
(College of Material Science and Engineering, Northeast Forestry University, Harbin 150040, China)
資料名：
Vacuum
(Vacuum)
巻： 144 ページ： 125-134 発行年： 2017年
JST資料番号： E0347A ISSN： 0042-207X 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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