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文献
J-GLOBAL ID：201702271641604595
整理番号：17A0907709
超精密空気軸受線形運動ステージの超低速度変動を減少させるための鉄心PMLSM末端効果のモデリングと同定【Powered by NICT】
Modeling and identification of iron-less PMLSM end effects for reducing ultra-low-velocity fluctuations of ultra-precision air bearing linear motion stage
Xi Jingsi
(School of Mechanical Engineering, Shanghai Jiaotong University, 800 Dongchuan Rd., Shanghai, China)
,
Dong Zeguang
(School of Mechanical Engineering, Shanghai Jiaotong University, 800 Dongchuan Rd., Shanghai, China)
,
Liu Pinkuan
(School of Mechanical Engineering, Shanghai Jiaotong University, 800 Dongchuan Rd., Shanghai, China)
,
Ding Han
(School of Mechanical Engineering, Shanghai Jiaotong University, 800 Dongchuan Rd., Shanghai, China)
資料名：
Precision Engineering
(Precision Engineering)
巻： 49 ページ： 92-103 発行年： 2017年
JST資料番号： A0734B ISSN： 0141-6359 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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