文献
J-GLOBAL ID:201702271733975930
整理番号:17A0662609
粒子法シミュレーションによる堆積モデリングの解析
Analysis of deposition modeling by particle method simulation
著者 (5件):
MAKINO Masato
(Yamagata Univ., Yamagata, JPN)
,
FUKUZAWA Daisuke
(SIMLON Co., Ltd., Tokyo, JPN)
,
MURASHIMA Takahiro
(Tohoku Univ., Sendai, JPN)
,
KAWAKAMI Masaru
(Yamagata Univ., Yamagata, JPN)
,
FURUKAWA Hidemitsu
(Yamagata Univ., Yamagata, JPN)
資料名:
Microsystem Technologies
(Microsystem Technologies)
巻:
23
号:
5
ページ:
1177-1181
発行年:
2017年05月
JST資料番号:
W2056A
ISSN:
0946-7076
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
ドイツ (DEU)
言語:
英語 (EN)