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文献
J-GLOBAL ID:201702271733975930   整理番号:17A0662609

粒子法シミュレーションによる堆積モデリングの解析

Analysis of deposition modeling by particle method simulation
著者 (5件):
MAKINO Masato
(Yamagata Univ., Yamagata, JPN)
FUKUZAWA Daisuke
(SIMLON Co., Ltd., Tokyo, JPN)
MURASHIMA Takahiro
(Tohoku Univ., Sendai, JPN)
KAWAKAMI Masaru
(Yamagata Univ., Yamagata, JPN)
FURUKAWA Hidemitsu
(Yamagata Univ., Yamagata, JPN)

資料名:
Microsystem Technologies  (Microsystem Technologies)

巻: 23  号:ページ: 1177-1181  発行年: 2017年05月 
JST資料番号: W2056A  ISSN: 0946-7076  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: ドイツ (DEU)  言語: 英語 (EN)
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