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J-GLOBAL ID:201702271789863581   整理番号:17A0369662

原子層堆積により作製したAl_2O_3ZnO超薄多層膜の屈折率とバンドギャップ変化【Powered by NICT】

Refractive index and bandgap variation in Al2O3-ZnO ultrathin multilayers prepared by atomic layer deposition
著者 (10件):
Lopez J.
(Centro de Nanociencias y Nanotecnologia, Universidad Nacional Autonoma de Mexico, Apdo. Postal 14, C.P. 22800, Ensenada, B.C., Mexico)
Lopez J.
(CONACYT - Centro de Nanociencias y Nanotecnologia Universidad Nacional Autonoma de Mexico, Apdo. Postal 14, C.P. 22800, Ensenada, B.C., Mexico)
Solorio E.
(Universidad Autonoma de Baja California, Km. 103 Carretera Tijuana-Ensenada, C.P. 22860, Ensenada, B.C., Mexico)
Borbon-Nunez H.A.
(Centro de Nanociencias y Nanotecnologia, Universidad Nacional Autonoma de Mexico, Apdo. Postal 14, C.P. 22800, Ensenada, B.C., Mexico)
Borbon-Nunez H.A.
(CONACYT - Centro de Nanociencias y Nanotecnologia Universidad Nacional Autonoma de Mexico, Apdo. Postal 14, C.P. 22800, Ensenada, B.C., Mexico)
Castillon F.F.
(Centro de Nanociencias y Nanotecnologia, Universidad Nacional Autonoma de Mexico, Apdo. Postal 14, C.P. 22800, Ensenada, B.C., Mexico)
Machorro R.
(Centro de Nanociencias y Nanotecnologia, Universidad Nacional Autonoma de Mexico, Apdo. Postal 14, C.P. 22800, Ensenada, B.C., Mexico)
Nedev N.
(Instituto de Ingenieria, Universidad Autonoma de Baja california, Blvd. Benito Juarez S/N, C.P. 21280, Mexicali, B.C., Mexico)
Farias M.H.
(Centro de Nanociencias y Nanotecnologia, Universidad Nacional Autonoma de Mexico, Apdo. Postal 14, C.P. 22800, Ensenada, B.C., Mexico)
Tiznado H.
(Centro de Nanociencias y Nanotecnologia, Universidad Nacional Autonoma de Mexico, Apdo. Postal 14, C.P. 22800, Ensenada, B.C., Mexico)

資料名:
Journal of Alloys and Compounds  (Journal of Alloys and Compounds)

巻: 691  ページ: 308-315  発行年: 2017年 
JST資料番号: D0083A  ISSN: 0925-8388  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: オランダ (NLD)  言語: 英語 (EN)
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