文献
J-GLOBAL ID:201702271937544251
整理番号:17A1253054
単一チップSOI-MEMS原子間力顕微鏡の設計と制御【Powered by NICT】
Design and control of a single-chip SOI-MEMS atomic force microscope
著者 (4件):
Maroufi Mohammad
(Department of Mechanical Engineering, The University of Texas at Dallas, Richardson, 75080 USA)
,
Ruppert Michael G.
(School of Electrical Engineering and Computer Science, The University of Newcastle, Callaghan, NSW, 2308, Australia)
,
Fowler Anthony G.
(Department of Mechanical Engineering, The University of Texas at Dallas, Richardson, 75080 USA)
,
Moheimani S. O. Reza
(Department of Mechanical Engineering, The University of Texas at Dallas, Richardson, 75080 USA)
資料名:
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻:
2017
号:
ACC
ページ:
2869-2874
発行年:
2017年
JST資料番号:
W2441A
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)