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文献
J-GLOBAL ID：201702271949619792
整理番号：17A1036879
3D構造形成されたイメージセンサのための6μmピッチAu電極を用いた3層Au/SiO_2ハイブリッド結合【Powered by NICT】
3-Layered Au/SiO2 hybrid bonding with 6-μm-pitch au electrodes for 3D structured image sensors
Honda Yuki
(NHK Science and Technology Research Laboratories, 1-10-11 Kinuta, Setagaya-ku, Tokyo 157-8510, Japan)
,
Goto Masahide
(NHK Science and Technology Research Laboratories, 1-10-11 Kinuta, Setagaya-ku, Tokyo 157-8510, Japan)
,
Watabe Toshihisa
(NHK Science and Technology Research Laboratories, 1-10-11 Kinuta, Setagaya-ku, Tokyo 157-8510, Japan)
,
Hagiwara Kei
(NHK Science and Technology Research Laboratories, 1-10-11 Kinuta, Setagaya-ku, Tokyo 157-8510, Japan)
,
Nanba Masakazu
(NHK Science and Technology Research Laboratories, 1-10-11 Kinuta, Setagaya-ku, Tokyo 157-8510, Japan)
,
Iguchi Yoshinori
(NHK Science and Technology Research Laboratories, 1-10-11 Kinuta, Setagaya-ku, Tokyo 157-8510, Japan)
,
Saraya Takuya
(The University of Tokyo, 4-6-1 Komaba, Meguro-ku, Tokyo 153-8505, Japan)
,
Kobayashi Masaharu
(The University of Tokyo, 4-6-1 Komaba, Meguro-ku, Tokyo 153-8505, Japan)
,
Higurashi Eiji
(The University of Tokyo, 4-6-1 Komaba, Meguro-ku, Tokyo 153-8505, Japan)
,
Toshiyoshi Hiroshi
(The University of Tokyo, 4-6-1 Komaba, Meguro-ku, Tokyo 153-8505, Japan)
,
Hiramoto Toshiro
(The University of Tokyo, 4-6-1 Komaba, Meguro-ku, Tokyo 153-8505, Japan)
資料名：
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017 号： LTB-3D ページ： 7 発行年： 2017年
JST資料番号： W2441A 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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