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文献
J-GLOBAL ID：201702272076787762
整理番号：17A1623904
超音波スプレー熱分解したZnO薄膜の高周波マグネトロンスパッタシード層特性の役割【Powered by NICT】
Role of the radio frequency magnetron sputtered seed layer properties on ultrasonic spray pyrolyzed ZnO thin films
Tomakin Murat
(Department of Physics, Recep Tayyip Erdogan University, Rize 53100, Turkey)
,
Onuk Zuhal
(Department of Materials Science and Engineering, University of Delaware, Newark, Delaware 19716, USA)
,
Rujisamphan Nopporn
(Nanoscience and Nanotechnology Graduate Program, Faculty of Science, King Mongkut’s University of Technology Thonburi, Bangkok 10140, Thailand)
,
Rujisamphan Nopporn
(Theoretical and Computational Science Center (TaCS), Faculty of Science, King Mongkut’s University of Technology Thonburi, Bangkok 10140, Thailand)
,
Shah Syed Ismat
(Department of Materials Science and Engineering, University of Delaware, Newark, Delaware 19716, USA)
,
Shah Syed Ismat
(Department of Physics and Astronomy, University of Delaware, Newark, Delaware 19716, USA)
資料名：
Thin Solid Films
(Thin Solid Films)
巻： 642 ページ： 163-168 発行年： 2017年
JST資料番号： B0899A ISSN： 0040-6090 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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