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文献
J-GLOBAL ID：201702272140103127
整理番号：17A0368669
MEMS応用のためのパルスレーザ蒸着を用いて作製したPr-Fe-B磁石の微細加工と微小磁化【Powered by NICT】
Micromachining and micro-magnetization of Pr-Fe-B magnets fabricated using pulsed laser deposition for MEMS applications
Fujiwara Ryogen
(Institute of Innovative Research, Tokyo Institute of Technology, Yokohama, Japan)
,
Fujiwara Ryogen
(Research Fellow of Japan Society for the Promotion of Science, Japan)
,
Tanaka Shunya
(Interdisciplinary Graduate School of Science and Engineering, Tokyo Institute of Technology, Yokohama, Japan)
,
Hijikata Wataru
(School of Engineering, Tokyo Institute of Technology, Tokyo, Japan)
,
Shinshi Tadahiko
(Institute of Innovative Research, Tokyo Institute of Technology, Yokohama, Japan)
,
Hirotaki Keishi
(Graduate School of Engineering, Nagasaki University, Nagasaki, Japan)
,
Yamashita Akihiro
(Graduate School of Engineering, Nagasaki University, Nagasaki, Japan)
,
Nakano Masaki
(Graduate School of Engineering, Nagasaki University, Nagasaki, Japan)
資料名：
Sensors and Actuators. A. Physical
(Sensors and Actuators. A. Physical)
巻： 251 ページ： 219-224 発行年： 2016年
JST資料番号： B0345C ISSN： 0924-4247 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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