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文献
J-GLOBAL ID：201702272744747012
整理番号：17A0443961
応答曲面法を用いた無線周波数誘導加熱化学蒸着系におけるZrC被覆の合成の最適化【Powered by NICT】
Optimisation of the synthesis of ZrC coatings in a radio frequency induction-heating chemical vapour deposition system using response surface methodology
Biira S
(Department of Physics, University of Pretoria, Pretoria 0002, South Africa)
,
Biira S
(Department of Physics, Busitema University, PO Box 236, Tororo, Uganda)
,
Crouse PL
(Department of Chemical Engineering, University of Pretoria, 0002, South Africa)
,
Bissett H
(Applied Chemistry Division, South African Nuclear Energy Corporation (Necsa), PO Box 582, Pretoria 0001, South Africa)
,
Alawad BAB
(Department of Physics, University of Pretoria, Pretoria 0002, South Africa)
,
Hlatshwayo TT
(Department of Physics, University of Pretoria, Pretoria 0002, South Africa)
,
Nel JT
(Applied Chemistry Division, South African Nuclear Energy Corporation (Necsa), PO Box 582, Pretoria 0001, South Africa)
,
Malherbe JB
(Department of Physics, University of Pretoria, Pretoria 0002, South Africa)
資料名：
Thin Solid Films
(Thin Solid Films)
巻： 624 ページ： 61-69 発行年： 2017年
JST資料番号： B0899A ISSN： 0040-6090 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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