前のページに戻る
この文献は全文を取り寄せることができます
JDreamⅢ複写サービスから文献全文の複写（冊子体のコピー）をお申込みできます。
ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です。
ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です。
既に、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDをお持ちの方
JDreamⅢ複写サービスのご利用が初めての方
取り寄せる文献のタイトルと詳細
文献
J-GLOBAL ID：201702272975865252
整理番号：17A1013186
リモートプラズマ増強原子層蒸着を用いたZrO2成長に対するカットオフ現象効果
The Cut-Off Phenomenon Effect on ZrO2 Growth Using Remote Plasma-Enhanced Atomic Layer Deposition
CHEN Zheng
(Jilin Univ., Jilin, CHN)
,
WANG Haoran
(Jilin Univ., Jilin, CHN)
,
XIONG Pengpeng
(Jilin Univ., Jilin, CHN)
,
CHEN Ping
(Jilin Univ., Jilin, CHN)
,
LI Huiying
(Jilin Univ., Jilin, CHN)
,
LIU Yunfei
(Jilin Univ., Jilin, CHN)
,
DUAN Yu
(Jilin Univ., Jilin, CHN)
,
DUAN Yu
(Changchun Univ. Sci. and Technol., Jilin, CHN)
資料名：
Journal of Physical Chemistry C
(Journal of Physical Chemistry C)
巻： 121 号： 8 ページ： 4714-4719 発行年： 2017年03月02日
JST資料番号： W1877A ISSN： 1932-7447 CODEN： JPCCCK 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
JDreamⅢ複写サービスとは
JDreamⅢ複写サービスは、学術文献の全文を複写（コピー）して取り寄せできる有料サービスです。インターネットに公開されていない文献や、図書館に収録されていない文献の全文を、オンラインで取り寄せることができます。J-GLOBALの整理番号にも対応しているので、申し込みも簡単にできます。全文の複写（コピー）は郵送またはFAXでお送りします
※ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です
※初めてご利用される方は、JDreamⅢ複写サービスのご案内をご覧ください。
※ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です
※初めてご利用される方は、JDreamⅢ複写サービスのご案内をご覧ください。