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文献
J-GLOBAL ID：201702273344482706
整理番号：17A1381682
法線ベクトル追跡法に基づくnanoprofilerによる高精度三次元非球面ミラー測定【Powered by NICT】
High-accuracy three-dimensional aspheric mirror measurement with nanoprofiler based on normal vector tracing method
Kudo Ryota
(Research Center for Ultra-Precision Science and Technology, Osaka University, 2-1 Yamada-oka, Suita Osaka, 565-0871, Japan)
,
Kitayama Takao
(Research Center for Ultra-Precision Science and Technology, Osaka University, 2-1 Yamada-oka, Suita Osaka, 565-0871, Japan)
,
Tokuta Yusuke
(Department of Precision Science and Technology, Graduate School of Engineering, Osaka University, 2-1 Yamada-oka, Suita Osaka, 565-0871, Japan)
,
Shiraji Hiroki
(Research Center for Ultra-Precision Science and Technology, Osaka University, 2-1 Yamada-oka, Suita Osaka, 565-0871, Japan)
,
Nakano Motohiro
(Department of Precision Science and Technology, Graduate School of Engineering, Osaka University, 2-1 Yamada-oka, Suita Osaka, 565-0871, Japan)
,
Yamamura Kazuya
(Research Center for Ultra-Precision Science and Technology, Osaka University, 2-1 Yamada-oka, Suita Osaka, 565-0871, Japan)
,
Endo Katsuyoshi
(Research Center for Ultra-Precision Science and Technology, Osaka University, 2-1 Yamada-oka, Suita Osaka, 565-0871, Japan)
資料名：
Optics and Lasers in Engineering
(Optics and Lasers in Engineering)
巻： 98 ページ： 159-162 発行年： 2017年
JST資料番号： A0602B ISSN： 0143-8166 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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