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文献
J-GLOBAL ID：201702273489664568
整理番号：17A0057823
3次元逐次統合内の高い幾つか相互接続安定性を保存する接合活性化のためのNsレーザアニーリング【Powered by NICT】
Ns laser annealing for junction activation preserving inter-tier interconnections stability within a 3D sequential integration
Fenouillet-Beranger C.
(CEA, Leti, MINATEC Campus)
,
Acosta-Alba P.
(CEA, Leti, MINATEC Campus)
,
Mathieu B.
(CEA, Leti, MINATEC Campus)
,
Kerdiles S.
(CEA, Leti, MINATEC Campus)
,
Samson M-P.
(STMicroelectronics)
,
Previtali B.
(CEA, Leti, MINATEC Campus)
,
Rambal N.
(CEA, Leti, MINATEC Campus)
,
Lapras V.
(CEA, Leti, MINATEC Campus)
,
Ibars F.
(STMicroelectronics)
,
Roman A.
(STMicroelectronics)
,
Kachtouli R.
(CEA, Leti, MINATEC Campus)
,
Besson P.
(STMicroelectronics)
,
Nieto J-P.
(CEA, Leti, MINATEC Campus)
,
Pasini L.
(CEA, Leti, MINATEC Campus)
,
Brunet L.
(CEA, Leti, MINATEC Campus)
,
Aussenac F.
(CEA, Leti, MINATEC Campus)
,
Hartmann J-M.
(CEA, Leti, MINATEC Campus)
,
Mazzamuto F.
(SCREEN-LASSE, France)
,
Toque-Tresonne I.
(SCREEN-LASSE, France)
,
Huet K.
(SCREEN-LASSE, France)
,
Batude P.
(CEA, Leti, MINATEC Campus)
,
Vinet M.
(CEA, Leti, MINATEC Campus)
資料名：
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻： 2016 号： S3S ページ： 1-2 発行年： 2016年
JST資料番号： W2441A 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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