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J-GLOBAL ID：201702274049803122 整理番号：17A1163606

チップ3D Liイオン全固体マイクロ電池のための機能層の原子層堆積【Powered by NICT】

Atomic Layer Deposition of Functional Layers for on Chip 3D Li-Ion All Solid State Microbattery

著者 (21件)：

Letiche Manon

(Institut d’Electronique, de Microelectronique et de Nanotechnologie, CNRS UMR 8520 - Universite de Lille Sciences et Technologies, BP60069, 59652, Villeneuve d’Ascq cedex, France)

Letiche Manon

(Unite de Catalyse et de Chimie du Solide (UCCS), CNRS UMR 8181 - Universite Lille 1 Sciences et Technologies, 59655, Villeneuve d’Ascq Cedex, France)

Letiche Manon

(Reseau sur le Stockage Electrochimique de l’Energie, CNRS FR 3459, 33 rue Saint Leu, 80039, Amiens Cedex, France)

Eustache Etienne

(Institut d’Electronique, de Microelectronique et de Nanotechnologie, CNRS UMR 8520 - Universite de Lille Sciences et Technologies, BP60069, 59652, Villeneuve d’Ascq cedex, France)

Eustache Etienne

(Reseau sur le Stockage Electrochimique de l’Energie, CNRS FR 3459, 33 rue Saint Leu, 80039, Amiens Cedex, France)

Eustache Etienne

(Institut des Materiaux Jean Rouxel, CNRS UMR 6502 - Universite de Nantes, 2 rue de la Houssiniere BP32229, 44322, Nantes cedex 3, France)

Freixas Jeremy

(Institut d’Electronique, de Microelectronique et de Nanotechnologie, CNRS UMR 8520 - Universite de Lille Sciences et Technologies, BP60069, 59652, Villeneuve d’Ascq cedex, France)

Freixas Jeremy

(Reseau sur le Stockage Electrochimique de l’Energie, CNRS FR 3459, 33 rue Saint Leu, 80039, Amiens Cedex, France)

Freixas Jeremy

(Institut des Materiaux Jean Rouxel, CNRS UMR 6502 - Universite de Nantes, 2 rue de la Houssiniere BP32229, 44322, Nantes cedex 3, France)

Demortiere Arnaud

(Reseau sur le Stockage Electrochimique de l’Energie, CNRS FR 3459, 33 rue Saint Leu, 80039, Amiens Cedex, France)

Demortiere Arnaud

(Laboratoire de Reactivite et de Chimie des Solides (LRCS), CNRS UMR 7314 - Universite de Picardie Jules Verne, 100 Rue St Leu, 80000, Amiens, France)

De Andrade Vincent

(Argonne National Lab, Advanced Photon Sources Beam line, Bldg. 401/Rm A4115, Argonne National Laboratory 9700 S. Cass Ave. Argonne, IL, 60439, USA)

Morgenroth Laurence

(Institut d’Electronique, de Microelectronique et de Nanotechnologie, CNRS UMR 8520 - Universite de Lille Sciences et Technologies, BP60069, 59652, Villeneuve d’Ascq cedex, France)

Tilmant Pascal

(Institut d’Electronique, de Microelectronique et de Nanotechnologie, CNRS UMR 8520 - Universite de Lille Sciences et Technologies, BP60069, 59652, Villeneuve d’Ascq cedex, France)

Vaurette Francois

(Institut d’Electronique, de Microelectronique et de Nanotechnologie, CNRS UMR 8520 - Universite de Lille Sciences et Technologies, BP60069, 59652, Villeneuve d’Ascq cedex, France)

Troadec David

(Institut d’Electronique, de Microelectronique et de Nanotechnologie, CNRS UMR 8520 - Universite de Lille Sciences et Technologies, BP60069, 59652, Villeneuve d’Ascq cedex, France)

Roussel Pascal

(Unite de Catalyse et de Chimie du Solide (UCCS), CNRS UMR 8181 - Universite Lille 1 Sciences et Technologies, 59655, Villeneuve d’Ascq Cedex, France)

Brousse Thierry

(Reseau sur le Stockage Electrochimique de l’Energie, CNRS FR 3459, 33 rue Saint Leu, 80039, Amiens Cedex, France)

Brousse Thierry

(Institut des Materiaux Jean Rouxel, CNRS UMR 6502 - Universite de Nantes, 2 rue de la Houssiniere BP32229, 44322, Nantes cedex 3, France)

Lethien Christophe

(Institut d’Electronique, de Microelectronique et de Nanotechnologie, CNRS UMR 8520 - Universite de Lille Sciences et Technologies, BP60069, 59652, Villeneuve d’Ascq cedex, France)

Lethien Christophe

(Reseau sur le Stockage Electrochimique de l’Energie, CNRS FR 3459, 33 rue Saint Leu, 80039, Amiens Cedex, France)

資料名：

Advanced Energy Materials (Advanced Energy Materials)

巻： 7 号： 2 ページ： ROMBUNNO.201601402 発行年： 2017年
JST資料番号： W2778A ISSN： 1614-6832 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

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