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文献
J-GLOBAL ID：201702274213646133
整理番号：17A0944676
異なる作用圧力下で堆積されたSi/C多層膜の構造と極端紫外性能
Structure and extreme ultraviolet performance of Si/C multilayers deposited under different working pressures
YI Qiang
(China Acad. Engineering Physics, Mianyang, CHN)
,
HUANG Qiushi
(Tongji Univ., Shanghai, CHN)
,
WANG Xiangmei
(Tongji Univ., Shanghai, CHN)
,
YANG Yang
(Tongji Univ., Shanghai, CHN)
,
YANG Xiaowei
(Tongji Univ., Shanghai, CHN)
,
ZHANG Zhong
(Tongji Univ., Shanghai, CHN)
,
WANG Zhanshan
(Tongji Univ., Shanghai, CHN)
,
XU Rongkun
(China Acad. Engineering Physics, Mianyang, CHN)
,
PENG Taiping
(China Acad. Engineering Physics, Mianyang, CHN)
,
ZHOU Hongjun
(Univ. Sci. and Technol. China, Anhui, CHN)
,
HUO Tonglin
(Univ. Sci. and Technol. China, Anhui, CHN)
資料名：
Applied Optics
(Applied Optics)
巻： 56 号： 4 ページ： C145-C150 発行年： 2017年02月01日
JST資料番号： B0026B ISSN： 1559-128X CODEN： APOPAI 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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