文献
J-GLOBAL ID:201702274787045653
整理番号:17A1724365
200mmウエハ上に製造したBAWフィルタの改善結合係数分布【Powered by NICT】
Improving coupling coefficient distribution on BAW filters manufactured on 200mm wafers
著者 (2件):
Mishin Sergey
(Advanced Modular Systems, Inc Goleta, CA/USA)
,
Oshmyansky Yury
(Advanced Modular Systems, Inc Goleta, CA/USA)
資料名:
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻:
2017
号:
EFTF IFCS
ページ:
542-546
発行年:
2017年
JST資料番号:
W2441A
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)