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文献
J-GLOBAL ID:201702274915403941   整理番号:17A0366248

化学気相蒸着により成長させた炭化ジルコニウム膜の成長速度,形態及び微細構造に及ぼす基板ガス入口ギャップの影響【Powered by NICT】

Influence of the substrate gas-inlet gap on the growth rate, morphology and microstructure of zirconium carbide films grown by chemical vapour deposition
著者 (9件):
Biira S.
(Department of Physics, University of Pretoria, Pretoria 0002, South Africa)
Biira S.
(Department of Physics, Busitema University, P.O. Box 236, Tororo, Uganda)
Alawad B.A.B.
(Department of Physics, University of Pretoria, Pretoria 0002, South Africa)
Bissett H.
(Applied Chemistry Division, The South African Nuclear Energy Corporation (Necsa), P.O. Box 582, Pretoria 0001, South Africa)
Nel J.T.
(Applied Chemistry Division, The South African Nuclear Energy Corporation (Necsa), P.O. Box 582, Pretoria 0001, South Africa)
Ntsoane T.P.
(Radiation Science Division, The South African Nuclear Energy Corporation (Necsa), P.O. Box 582, Pretoria 0001, South Africa)
Hlatshwayo T.T.
(Department of Physics, University of Pretoria, Pretoria 0002, South Africa)
Crouse P.L.
(Department of Chemical Engineering, University of Pretoria, 0002, South Africa)
Malherbe J.B.
(Department of Physics, University of Pretoria, Pretoria 0002, South Africa)

資料名:
Ceramics International  (Ceramics International)

巻: 43  号: 1 PB  ページ: 1354-1361  発行年: 2017年 
JST資料番号: H0705A  ISSN: 0272-8842  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: イギリス (GBR)  言語: 英語 (EN)
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