文献
J-GLOBAL ID:201702275422232906
整理番号:17A1258676
フォトリソグラフィーのためのネオン回収【Powered by NICT】
Neon recovery for photolithography
著者 (4件):
Ebert Chris
(Linde Electronics and Premium Products, Alpha, NJ, USA)
,
Stout Sig
(Linde Electronics and Premium Products, Alpha, NJ, USA)
,
Heimerl Karl
(Linde Electronics and Premium Products, Alpha, NJ, USA)
,
Adams Matt
(Linde Electronics and Premium Products, Alpha, NJ, USA)
資料名:
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻:
2017
号:
MIPRO
ページ:
380-383
発行年:
2017年
JST資料番号:
W2441A
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)