文献
J-GLOBAL ID:201702275533169338
整理番号:17A1733002
人工神経回路網を用いたウエハ走査システムの適応故障低減【Powered by NICT】
Adaptive fault reduction of a wafer scanning system using artificial neural network
著者 (3件):
Athira K. H.
(Dept. of Electronics and Communication Engineering, Mohandas College of Engineering and Technology, Thiruvananthapuram, India)
,
Prescilla K.
(Dept. of Electronics and Communication Engineering, Mohandas College of Engineering and Technology, Thiruvananthapuram, India)
,
Aneesh R. P.
(Dept. of Electronics and Communication Engineering, Regional Centre of IHRD, Thiruvananthapuram, India)
資料名:
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻:
2017
号:
SPICES
ページ:
1-8
発行年:
2017年
JST資料番号:
W2441A
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)