文献
J-GLOBAL ID:201702275619529947
整理番号:17A1258612
高k半導体前駆体中の微量金属不純物のバッチ研究【Powered by NICT】
A batch study of trace metal impurities in high-k semiconductor precursors
著者 (3件):
Chowdhury Vijay
(ChemTrace, Inc., Fremont, CA 94538 USA)
,
Islam Mohsina
(ChemTrace, Inc., Fremont, CA 94538 USA)
,
Shi Liu
(ChemTrace, Inc., Fremont, CA 94538 USA)
資料名:
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻:
2017
号:
MIPRO
ページ:
68-71
発行年:
2017年
JST資料番号:
W2441A
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)