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文献
J-GLOBAL ID：201702275815796564
整理番号：17A0443952
軟X線とEUV応用のための異なる遷移金属の光学的性質と耐酸化性【Powered by NICT】
Optical properties and oxidation resistance of different transition metals for soft X-ray and EUV applications
Mueller Robert
(Friedrich-Schiller-Universitaet Jena, Institute of Applied Physics, Abbe School of Photonics, Max-Wien-Platz 1, 07743 Jena, Germany)
,
Mueller Robert
(Fraunhofer Institute for Applied Optics and Precision Engineering IOF, Albert-Einstein-Strasse 7, 07745 Jena, Germany)
,
Yulin Sergiy
(Fraunhofer Institute for Applied Optics and Precision Engineering IOF, Albert-Einstein-Strasse 7, 07745 Jena, Germany)
,
Naujok Philipp
(Friedrich-Schiller-Universitaet Jena, Institute of Applied Physics, Abbe School of Photonics, Max-Wien-Platz 1, 07743 Jena, Germany)
,
Naujok Philipp
(Fraunhofer Institute for Applied Optics and Precision Engineering IOF, Albert-Einstein-Strasse 7, 07745 Jena, Germany)
,
Kaiser Norbert
(Fraunhofer Institute for Applied Optics and Precision Engineering IOF, Albert-Einstein-Strasse 7, 07745 Jena, Germany)
,
Tuennermann Andreas
(Friedrich-Schiller-Universitaet Jena, Institute of Applied Physics, Abbe School of Photonics, Max-Wien-Platz 1, 07743 Jena, Germany)
,
Tuennermann Andreas
(Fraunhofer Institute for Applied Optics and Precision Engineering IOF, Albert-Einstein-Strasse 7, 07745 Jena, Germany)
資料名：
Thin Solid Films
(Thin Solid Films)
巻： 624 ページ： 1-6 発行年： 2017年
JST資料番号： B0899A ISSN： 0040-6090 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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